挖贝网 5月3日消息，芯源微（688037）发布公告称，公司自2020年2月19日至2020年4月30日，累计获得政府补助款项人民币1551.61万元，均为与收益相关的政府补助。

　　据了解，芯源微2019年归属于上市公司股东的净利润29,275,895.55元，同比减少3.94%。

　　资料显示，芯源微要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

　　来源链接：http://www.cninfo.com.cn/new/disclosure/detail？orgId=9900039964&announcementId=1207703461&announcementTime=2020-05-06